| 概述
SM5420 是一个小外型SO-8封 装的不带温度补偿压力传感器，该传 感器使用SMI 公司经过优化的硅微 结构的SM5108 晶圆，并能为如此小 的压力传感器提供比较高的精确度。 这种优越性能通过细微电阻安装和 微机械配置以及先进的MEMS 加工 技术而得。
这种传感器是为大批量使用而 价格又成为关键因素的客户而设计， 如胎压计或者是轮胎气压监测系统。 SM5420 为绝压类型的压力传感器， 满量程范围15psi30psi60psi100psi, 是基于大批量使用陶瓷基板或者是印刷电路板的制造商而设计。
可以选用带端口的配置或者带孔配置，让进气通过端口上方或者压力 源的正向定位用于感应一般环境压力或者与O 形的密封圈一起使用。该端口方向 已选定以zui小化因恶劣环境中附加的长期依赖而造成的压力脉冲直接冲击压力晶 圆正面的几率。该器件对带有凝胶的作为标准，大量订购该器件并需要zui大化稳 定性的可以不带凝胶，比如在气压站、气象站的传感应用。 性能参数
所有参数在室温25℃，5V直流恒压源供电的条件下测量而得，除非另外规定。
zui小值 典型值 zui大值 单位
激励电压源 DC 0 5.0 10 V
激励电流源 DC 0 1.0 1.6 mA
满量程输出 PSI （kPa ）
15 （103） 95 127 160 mV
30 （207） 65 100 135 mV
6 0 （414） 65 100 135 mV
100 （689） 65 100 135 mV
零点输出 -35 35 mV
满量程温度系数 -24 -19 -15.5 %FS/100℃
零点温度系数 -7 -1 +7 %FS/100℃
电阻温度系数 +24 +27.5 +33 %/100℃
压力线性度（非线性误差） -0.20 -0.07 +0.20 %FS
桥臂阻抗 4 5 6 k Ω
输入电容 <2 pF
耐压 3ⅹ Rated FS
爆破压力 5 ⅹ Rated FS
工作温度 -40 +125 ℃
存储温度 -40 +150 ℃ 注意：
1、电桥可以被正电压或者负电压激励；正输出适用在正电压激励正压力加载在晶圆上
2、在5V恒定电压激励下测量
3、测量从0 到70℃
4、zui佳直线拟合 | 
