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德国BMT WLI Linnik 干涉仪

产品信息

特点:
· 测量范围:100/150 µm
· 横向分辨率:0.2 µm
· 垂向分辨率:1 nm
· 2秒实现快速测量
· 在粗糙和光滑的表面上进行测量

技术参数:
光源:LED
测量范围(µm):100 / 150
横向分辨率(µm):≥0.2
直分辨率(nm):<1
垂直测量范围(µm):100 / 150
测量范围(µm):90*70
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