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ALICAT MCV系列 气体质量流量控制器

产品信息

特点和优点

  • 响应时间50-100ms
  • 量程 0.5sccm-20slpm
  •   模拟和数字通信(可选PROFIBUS
  • 30种预设定校准气体
  •  精度±0.8% 的读数±0.2% 满刻度
  •   可选高精度±0.4% 的读数±0.2% 满刻度
  •   操作量程1%-100%
  • 数字显示质量流量、体积流量绝压和温
  • 无预热时间
  •  小巧设计,方便替换其他设备
  •  保证标准大气压下氦气zui大泄露1 x 10-9的气动截止阀
  •   终身维修

MCV质量流量控制器技术参数

性能

MCV质量流量控制器

描述

精度

±0.8% 的读数±0.2% 满刻度

在没有流量条件下校准

高精度选项

±0.4% 的读数±0.2% 满刻度

在没有流量条件下校准

重复性

±0.2%

满量程

操作量程

1%-100%的满量程

测量和控制

响应时间

100

毫秒(可调)

标准状态(STP

25°&14.696PSIA

仅测量质量流量用

操作温度

-1050

零点漂移

0.02

满量程//Atm

量程漂移

0.02

满量程//Atm

湿度范围

0-100%

无冷凝

控制流量范围

102.4%

满量程

zui大耐压

145

PSIG

输入/输出数字信号

质量流量、体积流量、绝压和温度

RS-232PROFIBUS

输入/输出模拟信号

质量流量

0-5VDC

可选输入/输出

第二路模拟

质量流量、体积流量、绝压或温度

0-5VDC,0-10VD4-20mA

电气连接

8针或者DB-15

 

供电电压:质量流量计

12-30Vdc15-30Vdc或者4-20mA输出)

 

供电电流:质量流量计

0.300Amp

 

安装位置敏感度

 

预热时间

1

阀泄漏率

1 x 10-9标准大气压sccm/s 氦气zui大

 

接液材质

316L不锈钢;FFKM(Kalrez)标准; Viton®EDPMBuna一些气体所需的氯丁橡胶;质量流量控制器还附加303不锈钢,430不锈钢

1、  高精度选项不包括量程低于5sccm

2、  如果选择PROFIBUS通信,则没有模拟信号可选。PROFIBUS的设备不带显示,看PROFIBUS性能所需的供电电压和电流

3、  如您需要特殊材质,请Alicat公司咨询

机械性能

满刻度MCV控制器

机械尺寸

过程连接

0.5SCCM -20SLPM

4.992H x 6.710W x 1.50D

1/4 VCR 外螺纹

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