韩国Line Tech M30系列 韩国气体质量流量控制器

韩国LINE TECH气体质量流量控制器广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、YL设备、气相色谱仪等相关行业。
主要参数：
流量范围：               0.005-125（slpm）
响应时间：               ≤2
精    度：        ≤1%
重 复 性：        ±0.25
输出信号：        0-5vdc或4-20mA
供电电压：        15-28vdc
温度范围：        0-50℃