半导体，晶圆检测探针台

特征：

1、探针台温度变化范围：-175℃ ~ 300℃，连续变温无节点。
2、探针台进行“低温冷却”及“高温加热”无须更换腔体，用户可以自如操控探针台从液氮低温段至300摄氏度的高温段，变温迅速而且操作简便。
3、真空腔体有足够的空间，用户更容易进行显微镜、针座或电学设备的调整。
4、石英玻璃视窗，用户可以透过视窗观察腔体内部配置及样品状况。
5、专利的互交连接器技术，使真空探针台更易于应用于直流及射频信号(DC & RF)，同时有助于温度显著变化调节下(Min: -175℃, Max:300℃)的光学及电学设备调整。
6、高精度定位螺旋系统；
7、样品盘：Z多可以放置10套针座；
8、样品盘弹性构造设计：针座Z轴移动时，样品盘弹性构造可以有效保护样品及探针尖；
9、显微镜高兼容性，可以配置高分辨的显微镜及CCD系统；

技术参数：

1、探针台基座、样品盘及变温系统
- 材料：铜；
- 尺寸：4英寸；
- 样品盘移动 (X:20mm Y:20mm)
- 温度控制系统，包括测量及显示系统
- 温度范围：-175℃ ~ 300℃ (低温使用LN2杜瓦及LN2管等低温附件)；
2、真空腔体：
- 尺寸：650*500*350；
- 互交通道(3EA, 支持6P连接器)；
- 观察视窗(240mm, 耐热玻璃视窗)；
3、“Y”– 移动驱动器， “Z”– 移动驱动器；
4、X*Y移动平台 移动范围：20*20mm， 分辨率：10um， 重现性：1um；
5、针座：
- 磁体固定，Adopted Plate Spring；
- 移动范围：X-Y-Z 10-10-10 mm；
- BNC/Triaxal电缆；
- 针座螺旋分辨率：10um/pitch，重现性：1um；
- 尺寸：70*28 mm；
6、Navitar zoom lens system 光学镜头系统；
7、真空泵：
- 400升/分钟；
- 油过滤器，真空夹钳，波纹管等真空附件；
8、探针：
- 材料: tungsten,
- Radius: 0.02”(Variable Radius: 
9、LN2杜瓦：15 L/min, 包括压力控制器；
10、真空连接器；
11、选配的数字CCD相机：
- 控制软件，数字相机与显微镜兼容；
- 成像传感器：1/2” 彩色CCD；
- 分辨率：1.4Megapixel Camera(1280*1024)；
- 装配类型：C-Mount类型；
- 软件提供：USB2.0；