纳米显微线性平台（Nano Linear Table）

仪器介绍

德国Kleindiek Nanotechnik生产的纳米显微线性平台是在纳米马达的基础上构建的产品，可选XY轴或XYZ轴移动，同样能够保证纳米级移动精度和毫米级的移动范围，整个操纵装置全部由纳米马达驱动，从而保证了系统体积非常小，可以很容易地放入电子显微镜腔室内。平台可以安装的环境包括大气环境、真空环境、超高真空环境及液氮低温环境。

技术参数

型号 外形尺寸
长/宽/高mm XY轴行程 Z轴行程 大气 高真空 超高真空 液氮低温
LT3310XY 33 /33 /11.6 10mm 0mm √ √ x x
LT3310XYZ 33 /33 /30 10mm 7mm √ √ x x
LT3310XY-UHV 33 /33 /11.6 10mm 0mm √ √ √ x
LT3310XYZ-UHV 33 /33 /30 10mm 7mm √ √ √ x
LT3310XY-LT 33 /33 /11.6 10mm 0mm √ √ √ √
LT3310XYZ-LT 33 /33 /30 10mm 7mm √ √ √ √
LT6620XY 66 /66 /26 20mm 0mm √ √ x x
LT6620XYZ 66 /66 /50 20mm 15mm √ √ x x
LT6620XY-UHV 66 /66 /26 20mm 0mm √ √ √ x
LT6620XYZ-UHV 66 /66 /50 20mm 15mm √ √ √ x
LT6620XY-LT 66 /66 /26 20mm 0mm √ √ √ √
LT6620XYZ-LT 66 /66 /50 20mm 15mm √ √ √ √
LT6820XEYE
XY轴带反馈信号 68 /68 /26 20mm 0mm √ √ x x
LT6820XEYEZ
XY轴带反馈信号 68 /68 /50 20mm 15mm √ √ x x
LT6820XEYEZE
XYZ轴带反馈信号 68 /68 /50 20mm 15mm √ √ x x
LT6820XEYE-UHV
XY轴带反馈信号 68 /68 /26 20mm 0mm √ √ √ x
LT6820XEYEZ-UHV
XY轴带反馈信号 68 /68 /50 20mm 15mm √ √ √ x
LT6820XEYEZE-UHV
XYZ轴带反馈信号 68 /68 /50 20mm 15mm √ √ √ x
LT12830X2EY2E
XY轴带双向反馈信号 128 /128 /50 30mm 0mm √ √ x

主要特点

结构小巧移动灵活
• 结构小巧实用性强
• 即插即用
• 多种附件可用于扩展功能
高稳定高可靠
• 超稳定、低漂移 (1 nm/min)
• 高可靠性 (15Km可靠性实验)
• 不受震动影响
• 可手动预置初始位置
超高精度与快速移动兼备
• 无后座力及无漂移
• 0.25 nm/步进的移动精度
• 在同一次驱动中兼具高、低精度移动
• Z快移动速度(1mmm/sec)

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