共聚焦显微镜,汽缸表面无损检测系统,进行微纳米尺度的三维形貌分析
- 型号:μsurf cylinder
- 产地:欧洲
- 供应商:上海曼戈斐光学技术有限公司
- 供应商报价:1
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物镜倍数 | 10X | 20X | 50X |
单次测量面积(um) | 1100*1100 | 550*550 | 220*220 |
NA值 | 0.3 | 0.45/0.6 | 0.8 |
工作距离(mm) | 10.1 | 3.1/0.9 | 1 |
Z轴精度(nm) | 20 | <10 | <2 |
XY轴精度(um) | 1.9 | 0.95 | 0.38 |