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声学扫描显微镜

产品信息
在失效分析中的应用
晶圆面处分层缺陷
锡球、晶圆、或填胶中的开裂
晶圆的倾斜
各种可能之孔洞(晶圆接合面、锡球、填胶…等)
在失效分析中的优势
非破坏性、无损检测材料或IC芯片内部结构
可分层扫描、多层扫描
实施、直观的图像及分析
缺陷的测量及缺陷面积和数量统计
可显示材料内部的三维图像
对人体是没有伤害的
可检测各种缺陷(裂纹、分层
本公司今日报道: Klaus Kraemer 博士是欧洲声学检测技术的先驱,也是KSI声学品Pai的和持有人。从1984年开始至今,近30年来,不断推进高分辨率声学显微检测技术的发展,为半导体、复合材料、生物医学领域,提供声学检测设备和客制化的技术解决方案。

     Klaus Kraemer 博士是欧洲高分辨率声学检测技术发展的活化石和业界的标杆。他带领的团队对业界做出主要成就见下文:

  • 1984年   Klaus Kraemer 博士带领技术团队,开始专注与声学检测技术的开发,特别在材料和生物骨骼等高分辨高频声学技术领域。
  • 1990年   世界上个做出频率超过GHZ的超声波扫描显微镜,是业界的先驱。
  • 1991年   世界上个在超声波扫描显微镜中做出GHZ V(Z)、V(f)定量测量系统
  • 1994年   Kraemer Scientific Instruments GmbH公司在德国的Herborn市成立,推进声学检测技术的商品化,使声学检测技术从实验室走向更广泛的科研领域;
  • 1996年   推出世界上台数字超声波显微镜;
  • 1998年   声学技术研究所(IFA)成立,承担声学技术研发任务和样机试制任务。KSI公司专注于制造和销售,这样实行研发与制造销售的分离;并且世界上 个做出带有球面透镜的超声波换能器;
  • 2000年   引领世界的WINSAM Vario I型~III型声学显微镜开发成功, 其探头频率可达400 MHz,大幅提高了声学显微镜的极限分辨率;
  • 2002年   磁悬浮直线电机应用到Vario III型设备中,从此声学显微镜的检测效率大幅提高,同时把扫描机构的工作稳定性、工作噪音降到;
  • 2002年  世界上个利用超声波扫描显微镜实现材料声阻抗的测量;
  • 2004年   世界上个实现超声波显微镜自动对焦系统,并受到保护;
  • 2004年    世界上个实现多探头同时扫描大件样品的超声波显微系统,并受保护;
  • 2009年  与德国PVATepla公司达成战略合作,声学研究所IFA继续专注超声技术和原型机开发,KSI的原制造和销售业务与PVATepla整合,两家公司强强孤立联手,希望能产生协同效应,更好地开发新技术和拓展市场;
  • 2010年   新KSI公司开发成功第4代声学显微镜系统,推出V4系列,KSI v-400E单探头/双探头/八探头等,产能提升,纵向精度达5个纳米;同时配备FCT探头,能在高速扫描条件下正常工作
  • 2012年   开发出新一代平台型声学显微镜系统,KSI V8,使客户订制化更加便捷,能满足你各种工装、自动化等需求。成立凯斯安(ZG)有限公司,专注大中华地区的技术支持和市场拓展。  

      近几年Klaus Kraemer 博士带领的团队成功研发出防水泡探头,并应用到检测设备上,从而大大提升了超声波扫描速度;直到目前为止,KSI显微镜扫描速度仍比同行显微镜扫描速度快30%,实现了高速度、高精度、高稳定的先进检测手段!

      创新永远是市场的原动力,核心技术才是质量保证!


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