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实验室器器皿材料真空探针台系统

产品信息
该探针台的承片台X/Y/Z三个方向均可在真空环境下调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－13mm；z方向调节范围：0－13mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。
    该探针台的承片台X/Y/Z三个方向均可在真空环境下调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－13mm；z方向调节范围：0－13mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。

      探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

实验腔体

 

腔体材质：304不锈钢

 

上盖开启：铰链侧开

   

 

内腔体尺寸：φ140x180

   

 

加热台材质：304不锈钢

   

 

观察窗尺寸：φ75

   

加热台尺寸：50x50

   

加热台温度：室温-350℃可调

   

加热台温控误差：±1℃

 

真空度：机械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

 

真空抽气口：KF25

 

气体进气口：3mm-6mm卡套接头

 

进气阀门：高精密针阀

   

抽气阀门：KF25真空挡板阀

   

压力表：机械压力表 -0.1-0.15mpa

 

信号电极：4个

 

探针数量：4个

 

探针材质：φ1.5钨针   其他材质可选

 

探针移动平台：X轴移动行程 实验腔体

   






 

 

 

   

联系电话：
手机/微信：152 8682 6848
QQ：760625767
联系人：李工

 

 

 


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