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供应多种气体混合配比器质量流量计控制器

产品信息
数字质量流量计/质量流量控制器,该产品的各项技术指标均严格按照SEMI标准,相对模拟产品有使用便捷、可实现功能多、易于通讯、扩展性和可兼容性强等诸多优点。
 郑州科探仪器设备有限公司

     CS200数字质量流量计/质量流量控制器,该产品的各项技术指标均严格按照SEMI标准,相对模拟产品有使用便捷、可实现功能多、易于通讯、扩展性和可兼容性强等诸多优点。



用途

质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以精密控制气体的质量流量,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量。

 

特点
1、数字化,全金属密封;
2、高精度,快响应;  
3、极低零漂及温漂; 
4、良好的兼容性。

 

核心技术指标
1、数字模拟信号兼容;
2、精度:±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(<35% F.S.);
3、响应时间:  ≤0.8sec;
4、零点漂移:<0.6%F.S/年;
5、流量规格:2sccm-50slm;
6、输入信号: RS232/485 & DeviceNet, 0-5V,0-10V,4-20mA;
7、EMC 抗电磁干扰:CE。





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