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英国Oxford牛津SRP-4面铜探头CMI700/563用

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英国Oxford牛津SRP-4面铜探头(CMI700/CMI600/CMI563/专用)

英国Oxford牛津SRP-4面铜探头(CMI700/CMI600/CMI563/专用)

SRP-4面铜探头测试技术参数

专用于Oxford牛津CMI760(CMI700)座台式孔面铜测厚仪

铜厚测量范围:

化学铜:10 μin  500 μin (0.25 μ 12.7 μm)

电镀铜:0.1 mil  6 mil (2.5 μ 152 μm)

线形铜可测试线宽范围:8 mil  250 mil (203 μ 6350 μm)

准确度:±1% (±0.1 μm)参考标准片

精确度:化学铜:标准差0.2 %;电镀铜:标准差0.5 %

分辨率:0.01 mils  1 mil, 0.001 mils <1 mil, 

0.1 μ 10 μm, 0.01 μm < 10 μm, 0.001 μm < 1 μm


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