供气(混气)系统

1．本配比器适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其是方便三种气体切换使用，而不会造成大气进入加热炉管。

2．气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。

3．每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。

4．显示流量准确，可有效地控制气体消耗量。

5．所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。

技术参数：

气路通道：4（可根据客户需求设计1-8通道）

气路流量控制器采用质量流量计控制：

标准量程（N2）  ：200，500 SCCM

准    确    度  ：±1.5%

线          性  ：±0.5～1.5%

重  复  精  度  ：±0.2%

响  应  时  间  ：气特性  1～4 See

                  电特性  10 See

工作压差范围    ：0.1～0.5 MPa

Z  大  压  力  ：3 MPa

接          口  ：Φ6,1/4”

显          示  ：4位数字显示

工作环境温度:5~45℃

高纯气体不锈钢管：Φ6外X Φ4内

压 力 真 空 表  ：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截    止    阀  ：Φ6

备注：可选配质量流量计