产品信息
电子薄膜应力分布测试仪 基片曲率半径测量测试仪 光学零件平整度面形检测仪 微电子生产半导体基片检测仪
型号JC06-DZ
该产品主要应用在微电子、光电子生产线上和科研、教学等领域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、基片曲率半径测量测试。该仪器总测量点数多,能给出全场面型分布结果,适合于微电子生产线上产品质量的快速检验和微电子生产工艺研究。
仪器基于干涉计量的全场测试原理,可实时观测面型的分布,迅速了解被测样品的形貌及应力集中位置,及时淘汰早期失效产品。
主要技术指标
Z大样品尺寸≤100mm(4英寸)
曲率范围|R|≥5米
测试精度5%
单片测量时间3分钟/片
结果类型面形、曲率半径、应力分布、公式表示、数据表格
图形显示功能三维立体显示、二维伪彩色显示、单截面曲线显示
电源AC220V±10%,50Hz±5%
Z大功耗100W
外型尺寸(L×W×H)285mm×680mm×450mm
重量36kg
北京北信科仪分析仪器有限公司
地址：北京市昌平区西三旗泰华龙旗广场2号楼1516室
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