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全自动晶圆贴膜/揭膜设备/WY方案

产品信息

上海办事处  张先生

联系方式:133-718-58581 

地址:上海市闵行区沪闵路6259号A-706室

 

4”-12”晶圆适用

   可处理薄晶圆

晶圆料篮装卸料
胶膜贴覆前机内预切割
专利的防静电滚轮贴膜
高精度晶圆贴膜
晶圆智能料篮内测绘
长寿命切割刀片设计
自由晶圆胶膜贴覆
工控机+Windows系统
SECS/GEM 或简易联网能力


2008年加入上海市集成电路行业协会,成为会员单位
2. 2009年取得国家02专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”里“关键封装设备、材料应用工程”项目的两个课题:

(1)2009ZX02010-030全自动晶圆切割膜贴膜机的研发与产业化(带减薄膜撕膜装置)
(2)2009ZX02010-031全自动晶圆减薄膜贴膜机的研发与产业化

3. 2010年加入ZG集成电路封测产业链技术创新战略联盟,成为成员单位
4. 2010年获得Certificate of conformity (CE 认证)
5. 2011年获得《上海市高新技术成果转化项目证书》
6. 2011年获得闵行区科委的科技创新项目
7. 2012年获得科技部及上海市科技型中小企业技术创新基金
8. 2012年获得高新技术企业证书
9. 2013年获得第二项《上海市高新技术成果转化项目证书》
10. 2014年承担国家02专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”《全自动晶圆减薄抛光一体机》项目课题
11. 2013年获得上海市技改项目(智能工厂)
12. 2014年加入由华进和中科院组织的“先进封装装备评估与改进联合体”,成为十家指导单位之一
13. 2015年6月评为上海市专利试点企业
14. 2015年10月30日通过高新技术企业复审,证书编号:GF201531000414
15. 2015年11月10日成为新三板挂Pai企业
16. 已获知识产权授权总数29个,其中发明专利9个,实用新型专利18个,软件著作权2个。公司共拥有18项注册商标。

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