丹顿磁控溅射/电子束蒸发设备/销量领先
- 品牌：丹顿
- 型号：丹顿
- 产地：进口
- 供应商：杭州五光科技有限公司
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丹顿（美国）真空技术有限公司
上海办事处 张经理
联系方式：13371858581
地址：上海市闵行区沪闵路6259号A-706室
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磁控溅射系统Discovery®635 主要应用于微电子、光电子、功率器件、声表器件、射频器件、先进封装TSV、MEMS、光学、材料研究等应用中的金属、介质薄膜的沉积 Discovery 635标准工件盘尺寸为8英寸， 多靶直流/射频磁控溅射，标准635系统Z多可以装配四个靶，靶枪高度可调，角度可调靶枪可选。可提供充分的工艺灵活性（直流/射频/脉冲溅射，共溅射）； |
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磁控溅射系统 Discovery®785 Discovery 785可以处理直径达10英寸的基片，Discovery可以处理直径达12英寸的基片。 多靶直流/射频磁控溅射 ，Z多可以装六个靶，靶枪高度可调，角度可调靶枪可选。可提供充分的工艺灵活性（直流/射频/脉冲溅射，共溅射）； |
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