MD50C 韩国LINE TECH气体质量流量控制器MD50C量程25~50SLPM
- 型号:MD50C
- 产地:上海市
- 供应商:上海昕潼贸易有限公司
- 供应商报价:面议
- 标签:韩国LINE TECH气体质量流量控制器MD50C量程25~50SLPM
韩国原装进口数字式、高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器,使用特别的热传感器和控制电路提高计算精度。广泛应用于半导体工业和其他行业,产品设计坚固、耐用,且经济。
应用:
LINE TECH气体质量流量流量计和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入,直拉式晶炉,精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、YL设备、气相色谱仪等相关行业。
优势:
测量质量流量 不需要温度、压力补偿 紧凑的流量控制系统
精度(±0.2%F.S 耐高压(90公斤) 快速响应时间(<1秒)
高重复性(±0.25%F.S) 数字通信:RS-485
规格:
型号 | MD50C |
流量范围(N2) | 25~50 slpm |
响应时间 | <2秒 |
精确度 | ±0.2% |
重复精度 | ±0.25% |
输入输出信号 | 0~5Vdc or 4~20mA |
通讯信号 | RS485 |
供 电 | +15Vdc or +24Vdc,350mA |
zui大工作压力 | < 90 bar |
zui大工作温度 | 0~50℃ |
漏 率 | 1×10-9atm.cc/sec |
控制范围 | 2~100% |
尺寸: