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MD50C 韩国LINE TECH气体质量流量控制器MD50C量程25~50SLPM

产品信息

 韩国原装进口数字式、高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器,使用特别的热传感器和控制电路提高计算精度。广泛应用于半导体工业和其他行业,产品设计坚固、耐用,且经济。

应用:

LINE TECH气体质量流量流量计和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVDCVDMOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入,直拉式晶炉,精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、YL设备、气相色谱仪等相关行业。

优势:

测量质量流量      不需要温度、压力补偿   紧凑的流量控制系统 

精度(±0.2%F.S   耐高压(90公斤)        快速响应时间(<1秒)

高重复性(±0.25%F.S)     数字通信:RS-485

规格:

型号

MD50C

流量范围(N2)

25~50 slpm

响应时间

2

精确度

±0.2%

重复精度

±0.25%

输入输出信号

0~5Vdc or 4~20mA 

通讯信号

RS485

    

+15Vdc or +24Vdc,350mA

zui大工作压力

< 90 bar

zui大工作温度

0~50

    

1×10-9atm.cc/sec

控制范围

2~100%

尺寸:

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