低能离子减薄仪（Low-energy Ion Milling）

仪器介绍

新一代SEM（扫描电镜）、TEM（透射电镜）、XTEM（剖面透射电镜）和FIB（聚焦离子束）样品制备设备！

常规的离子减薄仪离子源能量较大，非常容易破坏样品的微观结构，而且很难看到材料真实的自然状态下的纳米结构；

而该设备采用低能离子源，在有效避免样品的微观结构被损伤的基础上，大大提高了电镜图片的清晰度，进而可以更为清楚的将材料自然状态下的微观结构展现出来。

技术参数

离子能量连续可调：100~10000eV；
离子电流连续可调：7~90uA；
离子束减薄样品角度：0~45度；
试样自动旋转或摆动角度：0~120度；

主要特点

低能离子源（超低能离子源）；
自动控制真空系统；
真空Load-Lock试样装载系统；
设计紧凑；
全自动电脑程序控制减薄和抛光过程；

资料下载：

[分析方法]通过低能离子减薄仪制样方法提高透射电镜TEM分辨率 附件下载 (下载 5 次)

请 [登录] 后再下载!