仪器介绍
韩国NanoView公司在椭偏仪领域不断创新，拥有多项专利技术。多年来一直致力于高性能椭偏仪的研制与生产，其产品主要用于半导体、导体、介质和液体薄膜的厚度、光学特性、成分比例和表面粗糙度等测量和分析，也可用于半导体器件和FPD显示等领域。目前主要产品分光椭偏仪，以独特的设计和无需校准等多项先进专利技术，使得测试时间大大减少的同时极大地增加了测量精度。
开发的多传感头的分光椭偏仪，用于半导体和显示器生产线的在线Mapping分析。
SE－MG 1000型变角光谱椭偏仪：
光谱范围 340－850nm，紫外可选（230－850nm），变角测角仪，可精密测量薄膜厚度、折射指数及其他性质 ，可进行多层膜模拟分析 ，数据分析：Del,Psi,n,k,d ，测量精度 1 Å
SE－MF 1000型固定入射角光谱椭偏仪：
采用专利的无需校准、无需标定技术和独特的无臂结构，USB接口和计算机连接，配合强大的控制分析软件和多通道检测器，测试速度快，10ms检测全光谱，是您实验室分析薄膜的工具。可广泛应用于：测量薄膜/多层膜的厚度、表面粘污， 表面与界面粗糙度、反射率， 组成与空隙率、合金比例等。
Rubbins-1000型Mapping光谱椭偏仪：
新开发的世界台LCD rubbing检测系统，同时也是世界上套能检测rubbing膜和聚酰亚氨膜的设备，也可用于LCD面板和正在发展中的半透明膜和CD 测试。
主要特点：适用于厚膜和薄膜测试
测试精度高
响应速度快
测量时间短
旋转补偿技术
无需旋转样品或测量头
不但可用于研发还可用于生产线检测
大吞吐量样品
Rubbins不用旋转样品就可以测量任何代包括第7代和第8代的整个薄膜面板
技术参数
1.光谱范围230nm~850nm
2.手动改变入射角度
3.实时测量
4.快速数据获取
主要特点
1.测量快速、简便
2.先进的探测系统极大提高信噪比
3.分别测量1000个以上光谱点
4.光学器件集成度高
