HORIBA光谱型椭圆偏振仪UVISEL UV-NIR
- 型号:UVISEL UV-NIR
- 供应商:北京睿光科技有限责任公司
- 供应商报价:电议
- 标签:HORIBA光谱型椭圆偏振仪UVISEL UV-NIR,供应HORIBA光谱型椭圆偏振仪UVISEL UV-NIR,北京睿光科技有限责任公司
UVISEL光谱型相调制椭圆偏振仪(SPME)是一款的仪器,它采用光弹性晶体调制(PEM)偏振光,而不是传统椭偏技术中的机械偏光装置。此外,测量过程无运动部件,使得全波段内都具有高灵敏度和极好的信噪比。
与传统椭偏仪相比,UVISEL光谱型椭偏仪能够在全谱范围内测得非常准确的椭偏角(Y, D),从而可以对透明衬底、超薄薄膜和折射率接近的样品进行高精度和高灵敏度的特性分析。
相位调制技术的原理,使得UVISEL光谱型椭偏仪能够进行先进的参数测量,包括极化度、各向异性以及Mueller矩阵元素的确定。高达1毫秒/每数据点的快速数据采集速率,使得UVISEL成为动态研究和液态表面测量的理想解决方案。
UVISEL是一台多功能的光谱型椭偏仪。它覆盖了190nm到2100nm的宽光谱范围,而且提供了一系列的自动选件和附件来增强系统的功能、满足您的实验需求。模块化的设计使得UVISEL配置灵活,可以离线、在线甚至为减小占地面积和满足超净间要求而集成到一个机柜中。
产品特征:· 光谱型相调制椭圆偏振仪
· 同类产品中的精度和灵敏度
· 宽光谱范围:190到2100纳米
· 50 KHz高频PEM相位调制技术
· 具备毫秒级超快动态采集模式,可用于在线实时检测
· 自动平台样品扫描成像、变温台、电化学反应池、液体池、密封池等多种附件
· 包含成熟的光谱型椭圆偏振仪软件包
软件:AUTO Soft和DeltaPsi
AUTO Soft DeltaPsi
—用户导向的全自动样品测量分析平台 —强大的建模和拟合处理功能
- 装载样品 - 对于厚透明样品基底背景光的自动修正
- 自动聚焦 - 梯度膜层
- 可直接观察样品测量及光斑 - 粗糙度或界面
- 开始测量 - 材料组份/结晶度
- 选择应用方案并执行 - 各向异性膜层
- 可进行单点测量或多点成像 - 薄膜厚度的不均匀性
- 自动生成报告 - 周期变化结构
- 对结果进行评价 - 完备的模型库与材料n, k数据库
产品指标:
型号 | UVISEL | UVISEL FUV | UVISEL NIR | UVISEL ER | UVISEL LT |
光谱范围 | 210-880nm | 190-880nm | 250-2100nm | 190-2100nm | 210-880nm 250-2100nm |
Psi Delta 精度 | Ψ(Psi)=45 ± 0.02, Δ(Delta)=0 ± 0.04(1.5-5ev) | ||||
折射率精度 | n ± 0.0002 NIST 1000? SiO2/Si | ||||
膜厚精度 | 0.025% (1σ)或d ± 0.25? (1σ) NIST 1000? SiO2/Si | ||||
样品台 | 150-200mm直径,手动,自动或旋转样品台 | 手动 | |||
微光斑 | 手动微光斑:3种选项,0.05mm, 0.1mm, 1mm | 标准光斑3mm | |||
入射角 | 40°-90°自动,步长0.01° 55°-90°手动,步长5° | 45°-90°手动,步长5° |
UVISEL 2科研级光谱型椭偏仪
HORIBA科学仪器事业部推出了新一代研究级光谱型椭圆偏振光谱仪,它具有的精确度、重复性、灵敏度,且具备的功能特性,是用于表征纳米和微米膜层的有力工具。UVISEL 2具有完备的全自动特性,操作简单、快速,可广泛应用于各类现有及新兴领域。
UVISEL 2配备了样品可视系统(专利技术),可用于观察任何样品表面。结合8种尺寸的微光斑,使得光斑可以精确定位于样品上各种限定尺寸的待测区域。
UVISEL 2集成了世界上Z小的无色差微光斑专利技术,光斑尺寸Z小可达到35μm,实现微区测量时仍能覆盖很大的光谱范围。
专业的DeltaPsi2软件平台,操作简单直观,为薄膜精确分析提供各种优化的测量、建模功能。
UVISEL 2是一款性能优于其它所有机型的型椭圆偏振光谱仪。它继承了经典UVISEL椭圆偏振光谱仪已被证明的精度、灵敏度性能,而且经过重新设计,性能大幅提升。