扫描声学显微镜

    中科院上海硅酸盐研究所研制的扫描电声显微镜获得05年国家技术发明二等奖和06年国际工业博览会银奖。已出口到德国、美国等多个国家，并装备国内有关大学和研究机构。

    基于多年的技术积累，上海硅酸盐研究所又成功开拓了扫描探针声学显微镜（Scanning Probe Acoustic Microscope，SPAM），并和上海卓伦微纳米设备有限公司合作，应用卓伦先进的SPM通用平台技术，将SPAM成功加载到ZL-SPM系列产品上，完成了SPAM商品化拓展。

    SPAM具有独特的成像机理和非破坏性内部成像能力，在光电子材料、半导体材料、薄膜材料、集成电路和生物样品上获得了成功的应用，在国内外重要期刊上发表相关论文40余篇，专著一本，获得国家发明专利二项，并多次在国际会议上作大会特邀报告和邀请报告，扫描探针声成像技术及其应用成果在国际上获得高度评价。

    SPAM克服了现有SPM只能获得材料表面结构和性质的不足，实现了材料表面及亚表面结构和物性的原位实时检测，为在纳米尺度上开展材料亚表面结构和性质及其相互关系的研究提供新的技术平台。

    SPAM是扫描探针显微镜家族的新成员，具有重要的应用前景。它对于纳米生物学、纳米电子学、纳米化学及纳米加工技术的发展必将起到有力的推动作用。

ZL Ac-II 基本原理： 

SPAM的成像机理是基于样品微观点电学或者声学性能的变化。

在SPM探针和样品表面之间引入一交变作用力，形成纳米尺度声源并在样品内部传播，携带着试样亚表面结构和物性信息的声信号经与试样耦合的高灵敏度探测器转换成电信号，利用弱信号探测技术和SPM的信号通道，并经计算机进行信号和图像处理，从而获得反映材料亚表面纳米尺度结构和性能的声学像。

SPAM是在电声成像技术的基础上，将低频声学技术和原子力显微镜技术相结合的一种新型显微成像技术。它突破了声学成像分辨率取决于声波波长的传统概念，具有低频、高分辨率、亚表面成像本领和图像清晰等特点。它可以适用于极性材料和非极性材料，并可原位同时观察与样品微观结构、局域弹性和内部缺陷有关的形貌像和声学像。

ZL Ac-II 成像特点： 

1、独特性：能够获得反映材料亚表面纳米尺度结构的声学像和性能的原位检测

2、穿透性：非破坏性观察物质内部信息

3、多功能性：性能研究、结构分析、缺陷检测融为一体

ZL Ac-II 技术指标：必须配套ZL 3000型使用 

1、成像模式：声学像和形貌像

2、成像方式：AFM接触模式

3、分辨率：≤10nm

4、工作频率：300Hz~30kHz

5、工作电压：1~3V