高分辨率纳米压印模板(Mold for nanoimprint lithography)
- 产地：其它
- 供应商：上海纳腾仪器有限公司
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产品库
技术参数： Delivery of nanoimprint templates in various materials （Si, SiNx, SiC, quartz,glass）.Maximum area of the templates:4 inch with feature size of 100 nm. For smaller area, minimum feature size of 50 nm. soft mold for thermal nanoimprint 热压印的软模板 quartz mold for UV nanoimprint 紫外压印的石英模板 silicon mold for thermal nanoimprint 热压印的硅模板
提供各种材料的纳米压印模板（硅，氮化硅，碳化硅，石英玻璃）。模板尺寸：4英寸，特征尺寸为100nm。对于更小的尺寸，Z小的特征尺寸可以达到50nm。
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Delivery of EBL service for various structures with the feature size down to 30nm.Substrates: any conducting or non-conducting wafers.
提供30nm特征尺寸的各种结构的电子束刻蚀服务。基板：任何导电或者非导电晶片。
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Micro ａnd nanofabrications for all kinds of nanostructures in a Si, III-V, II-VI ａnd polymers.
各种纳米结构（硅，III-V族元素，II-VI族元素以及聚合物）的微纳米加工。
主要特点：
