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D07-7C D07-7C 质量流量控制器(MASS FLOW CONTROLLER)

产品信息
是否提供加工定制品PaiD07-7C 质量流量控制器(MASS FLOW CONTROLLER)
型号D07-7C测量范围w
测量精度w产品用途质量流量控制器
仪器简介:质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。技术参数:
满量程流量范围(N2)5SCCM~10SLM
控制范围2~100%F.S.
阀类型(及阀初始状态)电磁调节阀(常闭)
准确度±1.5%F.S.
线性±0.5~1.5%F.S.
重复精度±0.2%F.S.
响应时间≤7sec
工作温度范围5~45℃

工作压差
0.1~0.5MPa
耐压3MPa
漏气率1×10-8atm.cc/sec He
密封材料氟橡胶、氯丁橡胶
电插头形式DB15 pin(Female)
接头选择VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose
Swagelok 1/4”或φ6、φ3
抗电磁干扰CE
重量1.1Kg
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