多入射角激光椭偏仪（光伏专用）
- 型号：EM01-PV
- 产地：中国大陆
- 供应商：北京量拓科技有限公司
- 供应商报价：电议
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产品库
EM01-PV-III多入射角激光椭偏仪（光伏专用）已升级至EMPro-PV型多入射角激光椭偏仪，主要升级内容包括：
EM01-PV-III为太阳能电池测试专用激光椭偏仪，用于单晶硅、多晶硅以及薄膜太阳能电池的膜厚和折射率测量，产品提供单晶硅专用太阳能电池样品台。
特点：单晶、多晶及各种薄膜太阳能电池的折射率和膜厚测量领域，既适合科研院所研究使用，亦适合工厂进行工艺研究分析和产线上产品检测。
性能保证：
| 激光波长 | 632.8nm（He-Ne laser） |
| 膜厚测量重复性 | 0.05nm（对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层） |
| 折射率精度 | 5x10-4（对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层） |
| 结构 | PSCA |
| 激光光束直径 | <1mm |
| 入射角度 | 40°-90°可选，步进5° |
| 样品方位调整 | 三维平移调节：±12.5mm（X-Y-Z三轴） 二维俯仰调节：±4° 光学自准直系统监视 |
| 样品台尺寸 | Φ170mm |
| 单次测量时间 | 典型1.1s |
| 推荐测量范围 | 0-2000nm |
| 外形尺寸（长x宽x高） | 980 x 660 x 430mm （入射角为90º时） |
可选配件：
