雷尼绍RELA的RESOLUTE UHV的光栅尺传感器

RELA是用ZeroMet（一种低膨胀镍/铁合金）制造的因钢栅尺，采用30 µm栅距的对式栅尺编码。
它可与精细栅距的玻璃栅尺媲美，在1 m长度内的总体精度（包括斜率误差和线性误差）优于±1 µm。ZeroMet在20 °C时的热膨胀系数为0.75 ±0.35 µm/m/°C。
系统设计人员可根据要求选择背面自带的特殊配方UHV兼容不干胶带或用机械夹具进行安装。两种安装方式都有助于使栅尺不受基体热膨胀影响。

RESOLUTE UHV采用雷尼绍革命性创新的对式光栅技术，通过一个适合在低达10 ^-9Torr的超高真空条件下应用的读数头充分发挥其技术优势。新的RESOLUTE UHV光栅系列的构造有利于进行残余气体分析 (RGA) 而不会污染真空环境，非常适合高性能、半导体和科研等应用领域。

成熟、可靠和创新的工作方法造就了RESOLUTE UHV的业界ling先的性能。重要的是，该系统使用标称栅距为30 µm的单码道非重复“条形码”栅尺格式。RESOLUTE读数头采用先进的光学设计，可以捕获该栅尺的准瞬时图像，在分析时，它还能在速度达到100 m/s时识别独特位置。该系统能够凭借低至1纳米（十亿分之一米）的分辨率以及低噪声（抖动低于10 nm RMS）和仅为±40 nm的低SDE（电子细分误差，一个栅尺刻划周期内的误差）确定位置。该分析提供具有优异保真度的光栅反馈，可确保更稳定的速度控制和的位置稳定性。

RESOLUTE UHV没有采用传统的双码道并排（一个为增量式，另一个为对式）方法，因为该方法在有少量角度准直偏差时会出现移相这一固有问题。与之不同的是，这种对式光栅采用单码道对式栅尺，将对位置和内置的相位信息整合为单个代码。该技术使RESOLUTE UHV具有更宽松的安装公差（扭摆公差为±0.5°），因此安装快捷方便，具有优异的长期稳定性，即使运动轴随着时间的推移而出现驻留或移动时也是如此。读数头上有一个内置LED安装指示灯，用于进一步协助安装和诊断。