雷尼绍RTLA的RESOLUTE UHV的光栅尺传感器

RTLA是一种轻薄小巧的不锈钢钢带栅尺，具有30 µm栅距的式栅尺编码。精度达±5 µm/m，长度Z大达21米。有两种安装选项可供选择，均具有独立热膨胀系数和钢带栅尺的便利性。

RTLA能够与革命性的FASTRACK™栅尺导轨系统结合使用。该系统可快速轻松地安装导轨，而无需固定孔。移除一次性垫片，然后将钢带送入导轨。

RTLA-S通过背面自带的不干胶固定到基体上。不干胶的作用是确保基体的热膨胀不会影响到栅尺。

为了完成安装，两种类型的栅尺都用夹具夹在一个点上，从而提供基准位置。

RESOLUTE UHV采用雷尼绍革命性创新的式光栅技术，通过一个适合在低达10 ^-9Torr的超高真空条件下应用的读数头充分发挥其技术优势。新的RESOLUTE UHV光栅系列的构造有利于进行残余气体分析 (RGA) 而不会污染真空环境，非常适合高性能、半导体和科研等应用领域。

成熟、可靠和创新的工作方法造就了RESOLUTE UHV的业界ling先的性能。重要的是，该系统使用标称栅距为30 µm的单码道非重复“条形码”栅尺格式。RESOLUTE读数头采用先进的光学设计，可以捕获该栅尺的准瞬时图像，在分析时，它还能在速度达到100 m/s时识别独特位置。该系统能够凭借低至1纳米（十亿分之一米）的分辨率以及低噪声（抖动低于10 nm RMS）和仅为±40 nm的低SDE（电子细分误差，一个栅尺刻划周期内的误差）确定位置。该分析提供具有优异保真度的光栅反馈，可确保更稳定的速度控制和的位置稳定性。

RESOLUTE UHV没有采用传统的双码道并排（一个为增量式，另一个为式）方法，因为该方法在有少量角度准直偏差时会出现移相这一固有问题。与之不同的是，这种式光栅采用单码道式栅尺，将位置和内置的相位信息整合为单个代码。该技术使RESOLUTE UHV具有更宽松的安装公差（扭摆公差为±0.5°），因此安装快捷方便，具有优异的长期稳定性，即使运动轴随着时间的推移而出现驻留或移动时也是如此。读数头上有一个内置LED安装指示灯，用于进一步协助安装和诊断。

协议

BiSS®  Panasonic