WLI Infra 德国BMT WLI Infra干涉仪

德国BMT  WLI Infra干涉仪
德国BMT WLI Infra干涉仪是用于硅薄膜的厚度测量设备。仪器适用于实验室、车间和生产线上的质量管理。测量头提供的重复性，设计坚固紧凑、免维护，适用于在线测量。产品特点：
•MEMS、硅梁、透明薄材料的非接触高精度厚度测量；
•纳米级分辨率；
•手动或自动测量步骤设计，简单易用；
•不受温度变化和热效应的影响；
•的重复性；
•可配备表面轮廓测量。技术参数：
•厚度分辨率（nm）             <1
•探针大小   （μm）              约150（可定制）
•厚度范围   （μm）              0.1-600
•仪器尺寸   （mm）             320x320x380
•重量          （kg）               120
•晶圆夹具                             定制，可达30cm
•全自动测量
•标准或定制的软件包