巨力科技供应：激光直写系统

 

欧洲先进的无掩膜激光直写系统，Z小线宽可达 100nm，为MEMS, BioMEMS, Micro Optics, ASICs, Micro Fluidics, Sensors, CGHs等以及相关微纳米结构领域的科研工作者，提供强有力的手段！

• 技术参数

加工线宽：Z小可达 100nm；

主要特点
 

*多种曝光模式：

        2D曝光模式：构建二维纳米结构；
        3D曝光模式：可加工三维纳米结构；

*压电驱动平台配合精密自动驱动平台，具有更高的水平定位分辨率；

*系统自动聚焦、纠斜、对准；

*多功能试样夹具；
*快速样品样品更换：<1秒；

*专业图形设计软件：支持导入CAD设计软件，2D和3D随意简单设计；