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semishare SH系列手动/半自动晶圆探针台

产品信息
  • SEMISHARE SH系列手动/半自动晶圆探针台,针对6/8/12英寸晶圆有SH6/SH8/SH12之型号,方便加装探针卡进行多Die重复测试,另可加载加热卡盘和根据客户需求改制。

    型号:SH-8

            分析探针台

     

     

    特点

     

    同轴驱动CHUCK

     

    可以升级做射频测试

     

    20X~4000X 光学显微放大

     

    无后座力移动

     

    针座平台可以快速升降便于wafer取放

     

    针座平台可以微调升降便于探针卡再定位

     

     

     

    规格

     

    真空吸附型Chuck

    8" 不锈钢

     

    Chuck X-Y轴行程

    8" x8" 

     

    Chuck 旋转角度

    0~30 

    针座平台上下粗调行程

    6mm   通过升降杆调整

     

    针座平台上下细粗行程

    25 mm 通过旋转手轮

     

    针座平台

    可以放置12 针座

     

    显微镜X-Y轴行程

    1" x1" 

     

     

     

    需求

     

    电力

    110 VAC, 60Hz

     

    真空

    -250 mmHg, 7 liter/min

     

     

     

    尺寸

     

    780mm x 660mm x 700mm高(带显微镜)

     

     80 Kg(带显微镜)

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