大功率半自动探针台

型号		SHCV-6-Auto		SHCV-8-Auto	SHCV-12-Auto
外形		860mm*850mm*700mm		880mm*860mm*750mm	1300mm*920mm*920mm
重量		180KG		250KG	380KG
电力需求		AC220V,50~60HZ
Chuck	尺寸	6inch		8inch	12inch
	X-Y轴行程	6*6inch		8*8inch	12*12inch
	X-Y轴移动解析度	0.04um/0.1um
	X-Y轴重复定位精度	±1um
	移动速度	≥ 50 mm/sec
	Z轴行程	10mm
	Z轴移动解析度	0.1um
	Z轴重复定位精度	±1um
	Theta角度行程	±15°
	Theta角度解析度	0.0003°
	光栅尺	带光栅尺
	样品固定方式	多孔真空吸附，独立分区控制
	切换样品功能	样品台快速拉出
	结构	同轴高压设计，镀金，电学独立悬空，可作为背电极使用
针座平台	规格	O型平台，Z多可放置8个针座		O型平台，Z多可放置10个针座	O型平台，Z多可放置12个针座
	行程&调节方式	平台可以快速升降，行程 6mm并带自动锁定功能;可以上下微调，行程25mm，升降精度1um
控制方式		手动控制盒（可选择带操纵杆）
		软件控制
软件功能		wafer map的编辑
		仪器的接入
		数据的采集和图像化显示
		数据的分析
		差异数据的标定Ink mark
		自定义Bin分
		自动测试
		通讯接口：RS232/EtherCAT/GPIB等
大功率规格	配置	大功率kelvin样品台
		大功率夹具线缆
		mult-pin 分流探针
		大功率保护模块（针座用）
		保护红外光幕，防止人员误进入工作区，触发时interlock互锁
		大功率仪器连接模块
	测试电压	10KV
	测试电流	500A（脉冲）
光学特性	显微镜行程	2*2inch
	显微镜行程	1um
	放大倍数	20-4000X
	CCD像素	50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字）
点针规格	点针精度	10微米/2微米/0.7微米
	X-Y-Z行程	12mm-12mm-12mm
	漏电精度	10pA/100fA
	接口形式	香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA，SHV接口
温控特性	温度范围	﹣100~200℃		﹣80~200℃	﹣60~200℃
	温控精度	温度分辨率 ： 0.01°C
	加热电源	LVDC 低压直流
	控温速率	±0.1°C  /小时
	传感器	Pt100
	制冷方式	液氮制冷
减震		主动式减震系统，能够实现50X 物镜下画面不抖动
可选附件		chuck快速拉出装置
		显微镜倾仰装置
		激光修复
		探针卡夹具
		光强/波长测试接口部件
		加热台
		高低温样品台（-80~200℃）
		防震桌
		射频测试
		PCB板夹具
		液晶热点侦测套装
		屏蔽箱
		卡盘镀金
运用方向		晶圆测试，功率器件测试