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ST8000光学薄膜测厚仪

产品信息
ST8000光学薄膜测厚仪是把UV-Vis光照在测量对象上,利用从测量对象中反射出来的光线测量膜的厚度的产品。 这种产品主要用于研究开发或生产导电体薄膜现场,特别在半导体及有关Display工作中作为 In-Line monitoring 仪器使用

ST8000光学薄膜测厚仪是把UV-Vis光照在测量对象上,利用从测量对象中反射出来的光线测量膜的厚度的产品。 这种产品主要用于研究开发或生产导电体薄膜现场,特别在半导体及有关Display工作中作为 In-Line monitoring 仪器使用。

ST8000光学薄膜测厚仪产品特性

1) 因为是利用光的方式,所以是非接触式,非破坏式,不会影响实验样品。

2) 可获得厚度和 n,k 数据。

3) 测量迅速正确,且不必为测量而破坏或加工实验样品。

4) 可测量3层以内的多层膜。

5) 根据用途可自由选择手动型或自动型。

6) 产品款式多样,而且也可以根据顾客的要求设计产品。

7)可测量 Wafer/LCD 上的膜厚度 (Stage size 6“ 8”, 12“ ...)

8)用于特殊领域(超精密,微小部位-0.2um2 ) a


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