108A全自动桌上型离子溅射仪

样品仓尺寸

120mm（直径）x 120mm（高）(4.75 x 4.75")

靶材

标配Au靶,选配Au:Pd, Pt, Pt:Pd; 57mm（直径）x 0.1mm（厚）

样品台

可放置12个标准SEM样品座;高度可在60mm内调节

溅镀优点

基于微处理器，安全联锁装置，可提供Z大40mA，可编程数字化控制

上盖

平面磁控管；快速更换靶材；四周由安全材料包裹

模拟计量

真空Atm - 0.001mb

厚度监测器(选配)

使用自动控制MTM-20高精度厚度控制器或MTM-10高精度厚度监测器（手动控制）

控制方式

自动清气和漏气参数控制
全程监控
可选择手动操作
数字化计时(0-300 sec)，可暂停
自动排气

控制台

真空泵安装在有防震装置的控制台下方

所有金属都安装了耦合系统，保证稳定性

需求

电源:

200-240 VAC, 50/60Hz

功率:

300VA (包括镀金机和真空系统#7010)

氩气:

纯度, min. 99.99%
工作压力5-6 psi (0.4 bar)
管径, 6.0mm (1/4")