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电子显微镜制样设备:MSP-1S型磁控离子溅射仪

产品信息
是否提供加工定制:品Pai:VACUUM DEVICE型号:MSP-1S
规格:详情见下面产品描述适用范围:工业
用途:为SEM样品表面喷镀金属层。原理:利用磁控电极在低电压下离子溅射金属靶材。操作方法:将样品放入样品仓,根据镀层厚度设置喷镀时间,按动开始按钮后从预备排气到喷镀过程都将自动进行,喷镀结束后旋转泵自动停止,样品仓充入空气后可取出样品。产品规格: 1、仪器尺寸:长340mm*宽200mm*高350mm,台式设计内置旋转泵,重14kg. 2、样品仓尺寸:内径120mm*高度65mm,材质为硬质玻璃。3、靶材电极尺寸:直径55mm,永磁体内置磁控管型。 4、样品台尺寸:直径50mm,与阳极分离的浮动装配方式。 5、标准靶材:Au-pd,可选配的靶材:Au,Pt-Pd,Pt. 6、靶材到样品的距离:35mm,附带间距调节用的辅助台。7、电源:AC100V,10A,带接地线的3P插头。
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