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离子溅射仪 LZ-Ⅱ

产品信息
用途:
LZ-Ⅱ离子溅射仪是种小型镀膜装置,可用作扫描电镜、电子探针等仪器进行试样制备,是开展教学科研实验的必备仪器。
    产品介绍:离子溅射仪 LZ-Ⅱ 药(械)准字: 无需注册证号

      用途:
      LZ-Ⅱ离子溅射仪是种小型镀膜装置,可用作扫描电镜、电子探针等仪器进行试样制备,是开展教学科研实验的必备仪器。

      镀膜原理与结构:
      LZ-Ⅱ离子溅射仪镀膜基本原理是基于荷能正离子轰击靶电产生溅射现象,靶被溅射出来的中性原子沉淀于基台上样品表面成膜,形成导电层。
      该离子溅射仪为二结构,以基台和样品架为正电与仪器外壳相连并接地,溅射靶电为负电(加负高压),它们被安装在玻璃罩的真空腔内,当腔内达到定真空度,在负高压的作用下发生辉光放电产生等离子体,其中正离子在电场加速下,获得足够能量轰击负电上的靶面,靶面被溅射原子沉淀于基台的样品表面形成导电膜,以供上述仪器分析。

      技术参数:
      1、型号:
      1、真空腔:¢150×12   硼酸硅质玻璃
      2、溅射靶尺寸:¢55×0.3
      3、基台:   ¢50  6-8个样品
      4、间距调节范围20-40mm
      5、溅射电压:  -2000V-0  DC连续可调
        溅射电流0-30 mA
      6、定时器:0-99分数字显示
      7、真空测量:1×105-1.0×10-1pa  数字显示,单片机控制,数字显示,具有真空保护锁设置。
      8、控制系统:单片机控制,完成真空自动测量、显示、定时器功能以及自动完成镀膜程序。
      9、真空泵:2L/S二旋片式直联机械泵,限真空度6×10-1pa 
      10、充气阀:金属微调针型阀   保护气体  99.9%纯度氩气(推荐)
      11、外形尺寸:长354mm ×高216mm ×深340mm
      12、电源:AC 220V  50HZ

      特点:
      1、人性化设计,整体性好;
      2、单片机控制,操作方便简洁;
      3、用户可根据实验需要自由设置溅射操作的工艺参数,使用灵活、方便;
      4、仪器有真空锁保护设置,使仪器可靠性安全性好;
      5、本产品已获得家专利,专利号:201220093483.0

        

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